純水和超純水區別存在于很多方面，這里只列舉了其中的一些方面，現歸納如下:

A電導率不同，純水電導率在2-10us/cm之間，超純水的電導率為0.056us/cm

B制造的難易程度不同，目前市場上使用的純水基本上都是經過反滲透、蒸餾等方法制得，而超純水是純水的基礎上還要經過光氧化技術、精處置和拋光處理等一系列復雜的純化技術制得的

C重金屬、細菌、微粒數等指標也大不相同，純水雜質含量是ppm 級，而超純水為ppb 級，簡單地說超純水中已經沒有什么雜質，接近于理論上的水。

D使用的領域也不相同;

E對輸送管道材質的要求也不相同,超純水對輸送管道材質的要求要比超純水嚴格的多。